電子特氣純度提升的影響因素較多，難度較大。電子特氣純度提升的影響因素較多，主要包括三個方面：
 

　　1)氣體的分離和提純。
 

　　電子特氣的分離和提純方法原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類，在實際提純分離過程中，為了達到更好的分離效率，往往會利用多種分離方法進行組合，工藝更為復雜。
 

　　2)氣體雜質檢測和監(jiān)控。
 

　　隨著電子特氣的純度越來越高，對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求，檢測限從最早的ppm級已經發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經經歷了離線分析、在線分析(on-line)，原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產而輕檢測，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。
 

　　3)氣體的運輸和儲存。
 

　　高純電子特氣得來不易，在儲存和運輸過程中要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、以及相應的氣體輸送管線、閥門和接口，確保避免二次污染。而我國加工工藝整體落后以及不符合國際規(guī)范，市場主要被國外公司占據。國內電子特氣純度仍有待提升。目前國外電子特氣的純度一般在6個“9”(即99.9999%)，而國內多在4—5個“9”之間，少數(shù)能達到6個“9”。